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CMPW系列抛光液用深层过滤卷绕滤芯

CMPW系列滤芯采用卷绕结构设计,能够对CMP的浆液精准过滤,高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。由外到内的梯度结构,增加了纳污空间,延长了滤芯的使用寿命。
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CMPW系列滤芯采用卷绕结构设计,能够对CMP的浆液精准过滤,高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。由外到内的梯度结构,增加了纳污空间,延长了滤芯的使用寿命。


产品特性

低析出

全聚丙烯材料结构,采用热熔焊接技术,不使用黏合剂,较少的溶出物,能够有效控制溶出物析出

高纳污量、寿命长

由外到内的梯度设计,避免了凝结的浆液过快堵塞滤膜表层,充分利用纳污空间,具有高纳污量和更长的使用寿命

有效过滤

独特的卷绕设计,能够实现对CMP的浆液精准过滤。高效拦截大颗粒,放行有效颗粒

防止纤维脱落

特有的网罩结构,防止了滤芯的纤维脱落


材质规格

滤材:PP

外壳/中心杆/端盖:PP


滤芯性能

最高工作温度:80℃       

最大工作压差:4bar@21℃           

                        2.4bar@80℃


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