随着微电子工业的迅猛发展,集成电路的高度可靠性,多功能和高集成度对高纯气体提出了更严格的要求,一旦有粉尘或液体粘在了集成电路上,就很有可能造成短路、断路,甚至是产品报废,所以空气的洁净度直接影响了微电子行业产品的成品率,所以在半导体工业、芯片厂等微电子行业中对生产环境的空气洁净度有着非常苛刻的要求。例如,VLSI(超大规模集成电路),VHSIC器件的加工需要高纯、干燥(无水)和无尘的气体。新一代VLSI微电子产品的制造需要更高质量的气体。
颇勒过滤针对微电子产品的制造过程中需要的气体制定了有效的解决方案,确保了气体的拦截效率。
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