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厂务系统过滤

半导体制造等过程中，厂务系统要为FAB的生产制造大批量，长时间不间断的供应用洁净的工艺气体，超纯水，超净电子化学品等。


厂务系统要为各种工艺流程提供支持应援工作，主要包括一般气体和特殊气体的供应、超纯水供应、中央化学品的供应、洁净室的湿度空气洁净度的维持、废水和废气的处理、冷却水的供应等。所以对过滤的稳定性也有很高的要求。

颇勒过滤为厂务系统过滤制定了行之有效的过滤解决方案，为厂务系统的安全供应提供了保证。


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