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CMPA系列抛光液用高纳污过滤滤芯

CMPA系列滤芯是适用于氧化物CMP、钨CMP及铜CMP中块状颗粒以及胶体的过滤。采用分级处理、特有的渐变孔径深层过滤技术,实现分级过滤,使滤芯具有高纳污空间。
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CMPA系列滤芯是适用于氧化物CMP、钨CMP及铜CMP中块状颗粒以及胶体的过滤。采用分级处理、特有的渐变孔径深层过滤技术,实现分级过滤,使滤芯具有高纳污空间,大大延长了滤芯的使用寿命。


产品特性

梯度过滤
滤膜孔径由外到内逐渐减小,截留大颗粒,放行有效颗粒。增大了有效过滤面积,提高了纳污量,从而延长了滤芯使用寿命

低析出

滤芯采用纯PP材料,生产过程不使用胶粘剂和表面活性剂,有效控制了过滤过程中的析出问题。纯PP结构保证了广泛的化学相容性,适合多种液体过滤

可选多种精度、接口

可选0.5-90μm的多种过滤精度,满足不同抛光液的工艺要求。长度、接口类型亦有多种规格提供选择,可以配合不同类型的过滤器进行使用


应用领域

抛光液的过滤


材料结构

滤材:PP        

外壳/中心杆/端盖:PP


滤芯性能

最高工作温度:80℃       

最大工作压差:4bar@21℃           

                        2.4bar@80℃


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