CMPA系列滤芯是适用于氧化物CMP、钨CMP及铜CMP中块状颗粒以及胶体的过滤。采用分级处理、特有的渐变孔径深层过滤技术，实现分级过滤，使滤芯具有高纳污空间，大大延长了滤芯的使用寿命。
产品特性
梯度过滤
滤膜孔径由外到内逐渐减小，截留大颗粒，放行有效颗粒。增大了有效过滤面积，提高了纳污量，从而延长了滤芯使用寿命
低析出
滤芯采用纯PP材料，生产过程不使用胶粘剂和表面活性剂，有效控制了过滤过程中的析出问题。纯PP结构保证了广泛的化学相容性，适合多种液体过滤
可选多种精度、接口
可选0.5-90μm的多种过滤精度，满足不同抛光液的工艺要求。长度、接口类型亦有多种规格提供选择，可以配合不同类型的过滤器进行使用
应用领域
抛光液的过滤
材料结构
滤材：PP
外壳/中心杆/端盖：PP
滤芯性能
最高工作温度：80℃
最大工作压差：4bar@21℃
2.4bar@80℃
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